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RC 6化学杂交泵是将一个双级旋片泵和一个双级化学隔膜泵结合在一起，达到耐腐蚀效果。隔膜泵用以维持油腔内的真空度，使溶剂蒸汽的分压保持在它们的露点之下，大大减少氧化性或腐蚀性气体的冷凝。因此RC 6化学杂交泵和常规的旋片泵相比，有更大地溶剂蒸汽抽取能力及对腐蚀气体的耐受性。PC 3/RC 6版本 - 用于大量蒸汽 - 在进气前端连接冷阱用以捕获蒸汽冷凝物。